Анотація до роботи:

Баловсяк С.В. Діагностика поверхні твердого тіла при умові повного зовнішнього відбивання Х-променів. - Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.07 – фізика твердого тіла. Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича, Чернівці, 2003.

Дисертація присвячена проблемі відтворення рельєфу та структурних параметрів поверхні твердого тіла методами дво- та трикристальної рефлектометрії, що базуються на явищі повного зовнішнього відбивання (ПЗВ) Х-променів. Проаналізовано вплив параметрів рельєфу і якості обробки поверхні на інтегральні та диференційні криві ПЗВ. Методами ПЗВ Х-променів досліджені стальні еталони шорсткості, зразки GaAs зі спеціально підготовленим одно- та двомірним рельєфом поверхні та зразки SiO₂, що пройшли супертонку хіміко-механічну обробку. З врахуванням даних, отриманих методом атомно-силової мікроскопії, розв'язано пряму і обернену задачу: розраховано теоретичні криві ПЗВ і відновлено параметри, що характеризують рельєф поверхні зразків. З інтегральних кривих визначено параметри рельєфу і густину приповерхневого шару зразків. Для плівок Cu, Ni, Ge на кварцових підкладках визначено шорсткість, товщину і густину. При розв'язуванні оберненої задачі для методу диференційних кривих використано фрактальний профіль поверхні. Розроблені методики дозволяють проводити діагностику поверхонь, для яких середньоарифметична висота нерівностей 0,26нмa<4,39нм, а їх просторовий період 0,4мкмm<11,9мкм.