Анотація до роботи:

Литвинчук І.В. Структурні зміни в пористому кремнії після іонної імплантації фосфором . – Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.07 – фізика твердого тіла.– Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича, Чернівці, 2004.

У роботі проведені комплексні Х - променеві дослідження структурних змін в приповерхневих шарах пористого кремнію після імплантації іонів фосфору (енергія Е= 180 КеВ, доза Q= 810¹⁴ іон/cм²). Визначено значення максимальних деформацій, протяжність областей пружних деформацій та характер їх змін. Відтворені товщинні розподіли деформацій і порушень в кремнії, генеровані імплантацією фосфором та іншими видами обробок, є досить складними і містять різнознакові деформації. Також розглянуто вплив комбінованої дії іонної імплантації фосфором та хімічного травлення на просторові розподіли інтенсивності, структурні властивості та фотолюмінесцентні характеристики кремнію в процесі природного старіння. Отримані дані свідчать про складний розподіл деформаційних полів по товщині кристалу, які еквівалентні мікродефектам, що об’єднані в кластери розмірами до кількох десятків мікрон з концентрацією порядка 10⁴-10⁵ см^-3. На основі чисельного розв’язку системи рівнянь Такагі досліджено механізми та закономірності формування товщинних осциляцій інтенсивності у сильно деформованих зосередженою силою кристалів кремнію. Починаючи з певного рівня деформацій, при якому зміна ефективної розорієнтації дефекту більша від ширини кривої гойдання W, поширення Х - променів супроводжується процесами міжвіткової взаємодії.